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广东省集成电子薄膜院士工作站

点击次数:  更新时间:2018-01-17 11:34:45  【打印此页】  【关闭

该工作站以李言荣院士及其创新团队为技术核心,该工作站院士团队长期从事电子功能薄膜材料和器件研究,先后承担973、863、自然基金等20 多个科研项目,取得国家、省部级奖励15 项,其中超导双面薄膜材料技术和热释电薄膜材料技术两项代表性成果已在军用电子器件/系统中得到验证和应用。先后通过对超导薄膜、铁电薄膜和介电集成薄膜等三种典型氧化物功能材料的系统研究,积极推动介电/半导体集成技术的自主发展。


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